白光干涉微观形貌及粗糙度仪设计用于高精度微观形貌分析及高精度粗糙度测量的应用。
3D基本参数(Sa, Sq, St, Smr, ...)
表面校平、镜像、旋转
空间滤波器、填充非测量点、设置阈值、修描表面点
除去形状、标准滤波器
提取感兴趣区域、提取轮廓
重采样
3D视图、伪色视图、照片模拟
水平距离和高度测量、阶跃高度测量
顶点计数分布、孔和顶点体积测量
频率分析（平均功率谱密度）
功能分析（Abbott曲线、切片）
公差极限（合格/不合格）显示